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旋轉真空泵又有如下幾種形式:① 油封式真空泵:它是利用油類密封各運動部件之間的間隙,減少有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置,故又稱氣鎮式真空泵。干式螺桿真空泵:它是一種不用油類(或液體)密封的變容真空泵。③液環式真空泵:帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內,當它旋轉時,把液體(通常為水或油)拋向泵殼內形成泵殼同心的環液,環液同轉子葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積,故亦稱旋轉變容真空泵。
無油(耐腐蝕)立式往復真空泵是臥式真空泵的更新換代產品,是獲得粗真空的主要設備。由于采用全密封裝置,實現了曲軸箱和汽缸的完全隔離;加上活塞環使用了自潤滑材料,便實現了先進的無油潤滑。由于無污水排放,所以該型真空泵特別適用于化工、和食品等行業的真空蒸餾、真空蒸發、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。
液環泵:雖然液環泵屬于粗真空泵,但在中國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、等領域仍然有著很大的市場。在國外,液環泵的銷售額占全部真空泵市場的14%,僅次于干泵,由于液環泵大部分是鑄件,加工要求也不高,屬勞動密集型產品,所以國產液環泵在價格上有競爭優勢,關鍵是要改進設計,縮小體積,減輕重量,提,降低能耗。
羅茨泵:從國外羅茨泵生產情況來看,國外幾家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他們各家羅茨泵的銷售額占羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%,這5家總計才20%,羅茨泵產量不大,但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統,為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵,所以國產羅茨泵一定要在占領基礎上設法進入國際市場另外,還要考慮到有些國家和地區的電源頻率為60Hz,更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快,技術上已經成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子,從而使壓縮熱得到平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯使用,一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質,實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗,所以應該在國內大力推廣和應用。