廣州潽拓光電科技有限公司--愛發科渦輪分子泵維修及保養維修；

分子泵常見的故障問題：

1、分子泵為何會發生半邊熱，半邊冷的現象？

2、分子泵使用中發現油發黑，請問油為什么會發黑？或者多長時間油才會變黑？

3、分子泵在運轉過程中，出現頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復到正常，反反復復，更換電源后現象仍如此，請問該現象如何解釋？

4、分子泵軸承為什么會燒毀

5、有防護網保護，為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內？

6、真空度很好的情況下，分子泵油為何會返到前級管道？

7、正常使用下，為什么分子泵油池會出現裂紋或者變形？

8、分子泵中經常掉出頂絲、鏍釘等物體，如M5的頂絲等，請問是否對分子泵的使用有影響？應如何解決？

9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗，怎么使用才安全？

10、變頻器電源在什么情況下會造成程序丟失或者錯亂？

11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格標準，是多少？

12、分子泵是否對冷卻有明確要求？如果風冷需要外界溫度是多少？如水冷則對水有何具體要求？如未達到要求會出現什么后果？

13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問題，應如何做才是很佳方式？

14、變頻器電源，轉速上升過程中就自動關機，即顯示“Poff”？

15、分子泵葉片破碎的原因？

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設置為1mT，泵在該磁場下運行12個小時以穩定轉子溫度；然后關閉磁場，再運行12個小時以使轉子降溫；然后再分別把磁場設置為2mT，按照前面的步驟繼續進行測試，直至磁場增加到7mT。當磁場逐步增加后，被測分子泵轉子的平衡溫度也隨之上升，當磁場強度為7mT時，平衡溫度上升到100攝氏度左右（分子泵的很大允許溫度為120度）。

另外，使用該測試平臺測試了另一臺其它品牌的分子泵，一系列的對比測試表明，分子泵在相同的磁場條件下轉子的平衡溫度明顯較低（5mT時，低大約40度）。2020年12月10日，真空推出全新350和450渦輪分子泵，該產品特別適用于質譜分析、電子顯微術、測量技術、粒子加速和等離子體物理方面的應用。新產品的應用領域十分廣泛，除了用于分析、真空工藝和半導體技術外，還可用于真空鍍膜、研發以及工業領域。

350和450性能強大、重量輕且占地面積小。憑借由前級真空側陶瓷球軸承和高真空側永磁徑向軸承所組成的混合軸承，系列渦輪分子泵的軸承非常堅固，確保了很佳的可靠性。創新性的轉子結構設計賦予了該渦輪分子泵諸多優點：對小分子氣體的抽吸能力更大、前級真空泵兼容性廣泛、氣流量高以及對小分子氣體的壓縮比。由于可以安裝在任意所需方向，該系列泵具有的和靈活性。

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“該系列渦輪分子泵具有理想的尺寸功率比。350和450是300至700l/s吸力級別中結構緊湊的大功率渦輪分子泵，針對小分子氣體具有的抽吸能力。”真空渦輪分子泵產品經理說道。內置的驅動電子設備在不增加體積尺寸的情況下，提供了包括ProfiNet和EtherCat在內的大量通訊接口。通過遙控和傳感器元件可以對泵數據進行分析，實現在運行過程中進行理想的工藝監控。

它的運行噪音低，氣體流量大，為真空行業樹立了新的標準。該系列的各款泵均已獲得SemiS2、UL、CSA和Nema12認證。此外，該系列各款泵均可以在客戶現場進行軸承維護和軸承更換，并且均可免維護運行4年。磁場環境對分子泵運行的影響:許多設備在工作時都會產生磁場，比如，家用電冰箱的磁場強度約有10高斯（1mT），MRI（）的磁場強度甚至會高達3T；

盡管可以采取屏蔽等措施，仍然可能會有外漏的雜散磁場，對工作在附近的分子泵產生不好的影響。磁場對渦輪分子泵的可能影響當渦輪分子泵的轉子在磁場中旋轉時，會產生渦流。這些電流傾向于阻礙轉子的旋轉，并導致電機的功率增大。由于泵轉子不與定子接觸，渦生的熱量和額外的功率主要通過輻射消散。因此，轉子可能會過熱，即使泵體及其它靜止的部件仍然是冷的。

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