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真空泵的作用是制造真空,其結(jié)構(gòu)形式多樣,有離心式、膜片(隔膜)式、活塞式、液環(huán)式、旋片式、射流式。真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵,其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

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一般的檢漏儀只能設(shè)置大于某一漏率的報(bào)警值。因此在系統(tǒng)檢漏時(shí),當(dāng)分流比過(guò)大卻沒(méi)有設(shè)置相應(yīng)的分流比,或者當(dāng)檢漏閥門(mén)關(guān)閉或堵塞時(shí),就有可能錯(cuò)過(guò)泄漏。

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利用裝有葉片的葉輪高速旋轉(zhuǎn),將機(jī)械能轉(zhuǎn)換為液體的動(dòng)能與壓能而工作的泵,稱(chēng)為葉片泵。根據(jù)被抽送液體流出葉輪的方向,可分為離心式、軸流式和混流式三種類(lèi)型

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多數(shù)渦輪分子泵對(duì)于輸送輕氣體(如氫、氦)的能力很強(qiáng)。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對(duì)于那些富氫的工藝過(guò)程,氦質(zhì)譜檢漏儀等場(chǎng)合均可得到應(yīng)用。

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