真空系統的基本知識

真空的定義：壓力低于一個大氣壓的任何氣態空間，采用真空度來表示真空的高低。

真空單位換算：1大氣壓≈1.0×105帕=760mmHg=760托

1托=133.3pa=1mmHg

1bar=100kpa

1mbar=100pa

1bar=1000mbar

TCO玻璃=Transparent Conductive Oxide 鍍有透明導電氧化物的玻璃

TCO材料：

SnO2:F(FTO fluorine doped tin oxide氟摻雜yang化錫)

ZnO:Al(AZO aluminum doped zinc oxide鋁摻雜氧化鋅)

In2O3:Sn(ITO indium tin oxide 氧化銦錫)

TCO薄膜的制備工藝

1. 薄膜的性質是由制備工藝決定的，改進制備工藝的努力方向是使制成的薄膜電阻率低、透射率高且表面形貌好，薄膜生長溫度低，與基板附著性好，能大面積均勻制膜且制膜成本低。

2.主要生產工藝：鍍膜過程中有氣壓、基片溫度、靶材功率、鍍膜速度；刻蝕過程中有HCl濃度、刻蝕速度、刻蝕溫度。

真空電鍍工藝的整個工藝過程都是在高真空狀態下在設備腔體內完成，所以通常只要設備設定參數與工藝要求相吻合時通常良品率會很高，但偶有操作不當也會產生，下面介紹幾種現場品控的方法以供參考。

（1）目視法

目視法主要是通過觀察電鍍成品與樣件膜層外觀來品控產品的方法，雖然簡單卻又是不可或缺的，不同的膜材在經過真空電鍍后會表現出不同的顏色，不同的質感，如鋁的亮白、錫的黑灰、鉻的q黑、在工藝完成后都會呈現在基材表面。所以當出現電鍍成品的膜層外觀與樣件膜層外觀不符時，首先要確定的是膜材是否置放正確，其次是確定工藝參數是否與該工藝相吻合，確定是否有操作不當。

（2）百格法

百格法即用百格刀或美工刀在膜層表面劃出大約100個1mm見方的小格然后用膠帶粘定后測試膜層與基體附著成度的方法。測定法方如下：

a) 首先在膜層表面用百格刀劃出10*10個1mm見方的的網格，網格要穿透膜層。

b) 用相應膠帶輕輕附在百格表面，并用手指覆壓趕出二者之間氣泡，然后靜置1分鐘，左手握住測試樣品，右手食指和拇指捏住膠帶一端，以與基材表面90度角的力迅速拉起膠帶，反復三次以沒有膜層脫落為合格。

（3）電流測定法

電流測定法主要針對于不導電金屬和合金膜的測定，通過測定膜層表面電流來檢測鍍膜產品是否合格。

測定方法是：在膜層表面相距1cm的距離分別放置電流表的兩個探頭，打開電流表，觀察電流表指針的情況。然后根據工藝要求來確定膜層是否合格。此種方法不僅可以檢測所鍍膜層是否是所需膜層，還可以根據電流情況來判斷膜層厚度是否滿足工藝要求。

理論上所有pvd真空鍍膜加工都可以添加運用添加劑，下面咱們來看看電鍍中運用添加劑的效果：

1.整平效果

能是基體微粗糙表面變得平坦，下降粗糙度。

2.潤濕效果

可下降金屬與溶液的界面張力，使鍍層與基體能更好附著，使陰極上分出的氫氣泡容易脫離，防止生孔。

3.細化晶粒

能改動鍍層的結晶狀況，細化晶粒使鍍層細密，在鋅酸鹽鍍鋅液中假如不加添加劑，得到的是海綿狀沉積物，參加添加劑以后，鍍層細密、詳盡而亮光。

4.亮光效果

參加亮光劑并與其他添加劑合作運用，進一步進步鍍層亮光度，是裝飾性電鍍不可或缺的成分。

pvd真空鍍膜加工所用到的添加劑還有許多其他效果，如進步鍍層硬度、下降鍍層應力等。添加劑應選擇運用，有的添加劑兼有幾種效果，在鍍液中一般含有（1——2）種添加劑。目前運用的添加劑首要是有機化合物或合成物，無機化合物也合作運用。

與傳統鋼鐵工業以資本消耗、環境負荷增加為價值進行擴大的模式不一樣，經過改動外表功能來開發帶鋼資料新商品，能夠同時滿足環保、降低成本、節省資本和提高功能的歸納請求，并且，其開展潛力在理論上是w限的，因為外表操控的自由度大，能夠滿足用戶各式各樣且靈敏多變的需要。

以外表技能來開展新式帶鋼資料，主要依賴技能立異。外表技能將是將來鋼鐵公司商品的立異要點，是公司將來競爭力地點。開發新一代帶鋼鍍膜技能與商品將是應對市場需要，提高公司競爭力的路徑。新式外表技能和商品完成工業化將可能對鋼鐵公司和上下游職業的出產工序產生革命性的影響。

市場需要和現有技能局限性的矛盾，難以經過傳統出產線的優化改造來完成，越來越嚴厲的環保規范也請求鋼鐵公司尋覓新式環保的外表處理和涂鍍技能，在這方面，現在鋼鐵業的人士普遍認為非常有期望，非常具特征的技能研制方向即是真空鍍膜技能。真空鍍膜（包含物理氣相堆積和化學氣相堆積等）即是經過各種手法把被鍍物質轉換為氣態，在帶鋼外表構成薄膜鍍層。理論上一切的金屬、非金屬、有機物都能經過這個方式構成鍍層。