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這種情況比較復雜，因為周圍氣體介質即使稍微漏入真空腔內，也會使其真空度降低。如果漏入了腐蝕性氣體,真空設備就可能損壞。在很多情況下，真空度和真空空間的潔凈，對真空條件下進行的各種工藝過程的質量有決定性的影響。

真空器件所使用的機械密封在結構上并無特殊之處。對于上述的一種情況，通常是采用氣密性好的金屬波紋營型單端面機械密封。第二種情況則要用雙端面機械密封，若使用單端面密封，勢必存在密封端面不能獲得潤滑的問題。

密封面內圓柱面上的傷痕很可能是外面的雜物進入密封面或安裝不當造成的。密封面上的環形溝槽，多數是固體微粒沉積于密封面而引起的。

石墨環（動環）的裂紋是由于傳動件的振動，橡膠圈的漲大以及石墨環本身的內應力造成的，而結焦則是因高溫所致，這在煉油廠的高溫熱油介質中是常見的。

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研究結果表明，優化后的LST-MS摩擦力矩及產熱顯著減小，較普通光滑端面機械密封，其密封壽命延長3 倍以上; 可通過表面微孔化技術使得非平衡式機械密封具有較高的承載能力; 指出靜壓多孔端面干氣密封性能主要依賴微孔部分密度，與微孔直徑無關，微孔實際深度對密封性能影響甚小。【天津三雨泵閥向您推薦明星產品--博格曼機械密封】2011年，彭旭東等在收斂錐面密封和多孔端面機械密封研究的基礎上，提出了錐面-微孔組合端面新型機械密封，通過有限元法求解理論模型證明在低壓工況下，收斂錐面能提高機械密封的開啟特性。

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機械密封件中的葉輪鎖母也不可以上得太緊，在常見的泄漏中，軸和軸套之間的滲漏會比較多，這不單只是葉輪鎖母沒鎖緊的原因，其它很多的因素都會引起滲漏，軸間的墊圈變形、偏移、失效、軸間端面混入了雜質、軸套和軸間有比較大的形位的誤差，接觸面損壞、軸上的各個元件相互之間有間隙、軸頭的螺紋過長等等，都會導致了軸間的滲漏，很多情況與液壓密封件泄漏原因相似。【天津三雨泵閥向您推薦明星產品--博格曼機械密封】V形密封圈V形密封圈是一種唇形密封圈，多用于往復運動的活塞或活塞桿的密封。