廣州潽拓光電科技有限公司——Agilent真空泵檢修

振動分析 在制造過程中以及泵運輸前的測試中，對每臺泵的振動頻譜進行驗證。全速下的平均大振動水平：0.4 m/s2。噪音測試 通過在以下 12 種不同運行狀態(tài)和方向下對一批泵進行一系列測試，來驗證泵噪音：垂直、水平和翻轉(zhuǎn)位置；高溫和低溫；全速和低速。在正常運行狀態(tài)下，168 次測量得到的平均噪音為 41 dB(A)+/-3σ。包裝測試 通過對帶包裝的泵進行測試來驗證包裝性能，在測試時，使帶包裝的泵從 96 厘米/37.8 英寸的高度以各種角度跌落 18 次。裝有 TwisTorr 305 的包裝箱可承受 30 g 的加速度，以確保在運輸過程中不會因跌落或運輸而損壞。

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分子泵控制器 “3D” 控制軟件

早期的分子泵控制器又叫分子泵電源，其的功能是向分子泵供電；后來，改進型的控制器具備了一定的保護功能，可以監(jiān)控分子泵的功率和溫度，相當于為分子泵的工作狀態(tài)設(shè)置了一條紅線，分子泵只能在這條線以下工作（2D），若超過這條線控制器就會報警停機。

與 704FS 配合工作的安捷倫新一代分子泵控制器，變被動保護為主動調(diào)整，可以根據(jù)不同的工藝條件，自動調(diào)整輸出功率和轉(zhuǎn)速，使泵在保證自身安全的同時，始終工作在一個達到優(yōu)性能的曲面上（3D），達到佳的氣載量和壓縮比。同時因為避免了分子泵超負荷運行，可以延長其使用壽命。

與 704FS 同時發(fā)布的還有 804FS 和 404FS，加上之前的 84FS 和 304FS，形成了一個完整的系列。

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使用經(jīng)過加速的離子束照射被測的表面，通過分析反射的粒子或光譜來測定被照射表面的具體成分。離子束分析技術(shù)可以對物體表面和近表面的元素進行分析，具有快速直接、無需樣品處理、無損、元素覆蓋范圍廣等特點。

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測試條件和裝置

被測分子泵的型號為 TwisTorr304 FS CFF6，使用一對亥姆霍茲線圈(直徑 120 厘米)來產(chǎn)生包圍整個泵的均勻磁場。

被測分子泵由一臺渦旋干泵作為前級，分子泵的進氣口壓力抽至 1E-3 mbar 以下（該壓力以下，熱對流幾乎為零，分子泵轉(zhuǎn)子的熱量僅可以通過輻射傳遞出去很小的一部分）。使用 20℃ 的冷卻水對分子泵持續(xù)進行冷卻；分子泵的控制器會自動調(diào)整電機電流，保持轉(zhuǎn)子以恒定轉(zhuǎn)速運行。使用安裝于分子泵口的紅外溫度計測量被測試分子泵的轉(zhuǎn)子溫度。使用連接到分子泵外殼的 PT100 熱電阻測量定子的溫度。

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CombiNEG系列可復合2000L/s的吸氣劑泵，其開啟工作時可將前級泵隔離封閉抽氣，可靠性高，對環(huán)境磁場的影響也很小，并且無油無振動，表面科學儀器和設(shè)備等需要超高真空、極高真空的系統(tǒng)。雙泵復合單一抽氣口的設(shè)計，使其結(jié)構(gòu)很緊湊，安裝使用也更簡單。

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安捷倫 HLD 系列檢漏儀有一個大漏粗測模式，該模式采用的不是質(zhì)譜偏轉(zhuǎn)原理，因此不需要很好的真空，可以在高達 2 萬帕的壓力下檢漏，這一點對于大型真空系統(tǒng)的粗檢和復雜系統(tǒng)的排查性檢漏特別實用。