真空設備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對應

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。如真空設備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。質量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，在設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。

這些對密封性有要求的產品或設備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。

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真空設備檢漏

如何判斷真空系統是否存在漏氣，通常采用靜態升壓法，即把容器抽到一定壓強后，關閉閥門將被抽容器與泵隔開，若容器漏氣或材料放氣，容器中的壓強將隨時間而上升。用真空計每隔一定時間計量一次容器中的壓強，可得出壓強/時間曲線。而對氦的檢測則使用的是質譜儀，是只檢測氦的質譜儀，這種質譜儀將其它質量數的氣體都屏蔽掉了。由于容器的漏氣與出氣情況不同，其曲線也不同

1.直線A

壓強不隨時間變化，說明系統即不漏氣，也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。

2.直線B

壓強期初上升很快，而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡，這說明容器沒有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因為放氣速率隨壓強的升高和時間的延長而降低，故曲線漸趨向于平衡。

3.直線C

是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說明只有漏氣而沒有放氣。

4.曲線D

開始壓強上升較快，而后漸漸減慢，后變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認為是B和C的疊加。如果出現曲線C和D的情況，則判定系統有漏氣。

氫氣檢測儀是一種可連續檢測有毒氣體濃度，適用于防爆場所要求的本質安全型設備。氫氣氣體檢測儀為本質安全型產品，符合GB3836.1-2000《操作指南氣體環境電氣設備》部分：通用要求和GB3836.4-2000《性氣體環境電氣設備》第4部分：本質安全型”i”的有關規定。便攜式氫氣泄漏檢測儀，是一種可連續檢測作業環境中氫氣濃度的儀器。氫氣檢測儀為內置泵吸式方式檢測氣體濃度，采用進口電化學傳感器，具有的靈敏度和出色的重復性；氫氣檢測儀采用嵌入式微控制技術，菜單操作簡單，功能齊全，可靠性高，整機性能居國內水平。檢測儀外殼采用高強度工程材料、復合彈性橡膠材料精制而成，強度高、手感好。氫氣檢漏法的工藝和方法批量生產的用戶采用上述控制器進行示蹤氣體的充注，達到收到壓力后控制器會給出提示，這時操作人員即可進行檢漏操作，然后通過控制器把氣體排出。

氮氣和氫氣的混合氣的用途

焊接行業中的應用氮氫混合氣體是焊接行業常用的混合保護氣種類之一，氮氣穩定的性質和氫氣的弱還原作用對焊縫的成形具有的輔助效果，并且對于氣泡生產也有相當的抑制作用，在焊接領域有很好的使用成效。

煉鋼行業中的應用5%的氫氣+95%氮氣的混和氣是一種安全的不可燃氣體，這是一種煉鋼用的標準還原保護氣，所以很容易買到混和好的氣體。