廈門太星機(jī)電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和銷售及維修工程師團(tuán)隊(duì)組成，公司提供國外及國內(nèi)廠家生產(chǎn)的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴(kuò)散泵，水環(huán)真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測(cè)量，真空泵油及其備品備件。

散泵是目前獲得高真空的、主要的工具之一，通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。

影響油擴(kuò)散泵性能的因素如下。

1、油擴(kuò)散泵的返流。

2、氣體分子的反擴(kuò)散。

3、擴(kuò)散泵油的裂化分解，一般擴(kuò)散泵對(duì)其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內(nèi)(室溫下0.00000001Pa左右)，受熱穩(wěn)定性好，不易被氧化，分子量大的高沸點(diǎn)的液體，如硅油是擴(kuò)散泵中比較理想的工作油。

4、泵清洗不干凈，污染物質(zhì)留在泵內(nèi)并重復(fù)循環(huán)，影響其真空度。

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擴(kuò)散泵中的油在加熱到沸騰溫度(約為200度)后產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管從各級(jí)噴嘴定向高速噴出。由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓強(qiáng)高于蒸氣流中該氣體的分壓強(qiáng)，被抽氣體的分子便不斷擴(kuò)散到高速定向蒸氣流中，隨著蒸氣流帶走。氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級(jí)噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)行多級(jí)壓縮，由前級(jí)泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環(huán)工作達(dá)到抽氣目的。

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鍋爐內(nèi)泵油的不穩(wěn)定沸騰，會(huì)使噴出的蒸汽射流的密度波動(dòng)，從而引起抽速和輕氣體壓縮比的變化。鍋爐可能一時(shí)過熱，使之有一段爆沸的時(shí)間，其補(bǔ)救的辦法是在現(xiàn)代的油擴(kuò)散泵中采用有翼片的鍋爐，增加內(nèi)表面積，降低熱流密度，增加功率能使爆沸減低到小或消除。在真空中，強(qiáng)力的爆沸，會(huì)引起自爆升騰，對(duì)噴咀，引起瞬間堵塞，造成汽流波動(dòng)。泵內(nèi)加防爆板可以防止爆沸的影響，因?qū)p氣體壓縮比低，可引起壓力的不穩(wěn)定，增加功率和泵的級(jí)數(shù)是有利的。在擴(kuò)散泵中設(shè)置側(cè)面出口噴射噴咀和擴(kuò)壓器，可使擴(kuò)散泵這種不穩(wěn)定性減至小。頂噴咀帽過冷也會(huì)引起蒸汽流不連續(xù)，導(dǎo)致壓力的不穩(wěn)定。設(shè)法保持頂噴咀的溫度不降，不使其過冷。來自橡膠密封的氣泡，有時(shí)油捕集氣體，通過密封膠圈滲透放出，因氣泡有一定壓力使油膜后進(jìn)入系統(tǒng)中。密封槽內(nèi)集存的泵油應(yīng)能排出，可使不穩(wěn)定減少，若用金屬墊圈就更好了。設(shè)計(jì)良好的冷帽能防止油滴落到頂噴咀的熱表面上蒸發(fā)。在用碳?xì)浠衔锉糜蜁r(shí)，操作不當(dāng)，擴(kuò)散泵系統(tǒng)有發(fā)生的危險(xiǎn)。大多數(shù)情況下規(guī)管的燈絲就是點(diǎn)火源。泵的日常操作要規(guī)范，定期檢查泵油的質(zhì)和量。

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（1）目前國內(nèi)生擴(kuò)散泵的廠家較多，型號(hào)、尺寸不統(tǒng)一，大泵越作越大，小泵則很少生產(chǎn)。況且對(duì)泵的性能也沒有考核指標(biāo)。行業(yè)應(yīng)對(duì)提和質(zhì)量進(jìn)行定期檢查、組織生產(chǎn)廠家多做改進(jìn)工作，使用戶配套方便。（2）泵在結(jié)構(gòu)方面：要縮小尺寸、降低重量，保證零件的加工精度，可增加級(jí)數(shù)，提高在4×10-1Pa時(shí)的抽氣量。給出對(duì)幾種常用的被抽氣體的抽氣量。（3）增加附件。如設(shè)置擋油帽，過熱保護(hù)裝置（對(duì)冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測(cè)和自動(dòng)保護(hù)。可自動(dòng)切斷和復(fù)位）。出口壓力的監(jiān)控。（4）規(guī)定油量的大值和小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要觀察油位，以方便用戶及時(shí)注油。從觀察窗看泵油變質(zhì)情況以便及時(shí)更換。（5）給出合適的前級(jí)泵的容量。（6）為了節(jié)能加熱功率要可調(diào)，要快速起動(dòng)和快速冷卻停泵，提高設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)率。（7）給出各種被抽氣體的性能曲線，好給出對(duì)一些氣體的壓縮比（方便用戶選用。（8）用微機(jī)控制運(yùn)行和故障診斷。（9）密封處要選高質(zhì)量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。（10）給出各種泵的返油率限定值，進(jìn)一步降低返油率，擴(kuò)大油擴(kuò)散泵的用途。油擴(kuò)散泵的工作壓力范圍寬（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少數(shù)部件需要維修，泵內(nèi)無運(yùn)動(dòng)部件，工作中可更換加熱器。硅油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr，使用合適的擋板或阱在室溫狀態(tài)下可獲得10-10Torr或更低的壓力。