1分鐘前 新沂手機(jī)殼LOGO曝光顯影設(shè)計(jì)服務(wù)周到「多圖」[利成感光38dbdb8]內(nèi)容:顯影工藝一般步驟如下:圖2 顯影工藝步驟1.預(yù)噴淋(p-wet):為了提高后面顯影液在硅片表面的附著性能,先在硅片表面噴上一點(diǎn)去離子水(Deionizedwater,DIW)。2.顯影噴淋(developer dispense):曝光顯影工藝流程說明:1. 洗版:將磁鐵版放在洗版機(jī)中洗滌,消除污漬,使印版面干凈、平整。2. 顯影:將洗凈的磁鐵版放入顯影機(jī)中顯影,選擇合適的膜粒大小,以便根據(jù)圖案進(jìn)行印刷。3. 曝光:使用燈光/照相機(jī)曝光,使磁鐵版上的油墨凝固,形成良好...

顯影噴淋(developer dispense):在硅片表面涂覆顯影液。為了將顯影液均勻地涂覆到硅片表面上,顯影噴嘴分為以下幾種:E2噴嘴,LD噴嘴,GP噴嘴,MGP噴嘴等。顯影液去除并且清洗(rinse):曝光:使用紫外線曝光機(jī)將掩膜上的圖案投射到光刻膠上。顯影:使用顯影液將未曝光的光刻膠清除掉,將芯片圖案暴露出來。刻蝕:使用化學(xué)反應(yīng)或物理方法將芯片表面的材料刻蝕掉,形成所需的電子器件結(jié)構(gòu)。清洗:將芯片在化學(xué)清洗液中清洗干凈,并使用干燥器進(jìn)行干燥。

蝕刻加工中曝光顯影是蝕刻工序前的一步重要的工序,曝光是將需要蝕刻的圖案通過光繪轉(zhuǎn)移到兩張一樣的菲林膠片上,曝光顯影是一種攝影技術(shù),其過程包括兩個(gè)步驟:曝光和顯影。在曝光過程中,光線照射到感光材料上,使材料中的紋理或顏色發(fā)生變化。在顯影過程中,通過將已曝光的感光材料轉(zhuǎn)移到顯影劑中,然后在定影劑中處理,產(chǎn)生可見的圖像。

將顯影液涂覆在曝光后的晶圓表面上,正膠的曝光區(qū)域和負(fù)膠的非曝光區(qū)域溶于顯影液中,進(jìn)一步將反應(yīng)聚合物和顯影液殘留沖洗后,就可以顯現(xiàn)出光刻膠中的圖形,曝光一般在曝光機(jī)內(nèi)進(jìn)行,曝光不足,導(dǎo)致單體聚合不,那么在顯影過程中,會(huì)使的膠膜變軟,線條不清晰,色澤暗淡,脫膠。曝光過度,會(huì)造成難顯影,留有殘膠。同時(shí)曝光影響圖案的線寬,過量曝光會(huì)使圖形線條變細(xì),蝕刻產(chǎn)品線條變粗。為了讓顯影液與光刻膠進(jìn)行充分反應(yīng)
