氣體管道安裝

氣體管道（gas pipeline）包括控制閥門(mén)、過(guò)濾器、減壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀等，宜集中設(shè)在氣體入口室。在需要經(jīng)常拆裝的管段處和管道與設(shè)備相聯(lián)接的地方，大都采用法蘭聯(lián)接。氣體經(jīng)鼓風(fēng)機(jī)、壓縮機(jī)、泵和鍋爐等增壓后，從管道的高壓處流向低壓處，也可利用氣體自身的壓力或重力輸送。當(dāng)氣體的流量已知時(shí)，管徑的大小取決于允許的流速或允許的摩擦阻力(壓力降)。流速大時(shí)管徑小，但壓力降值增大。但泵和壓縮機(jī)等動(dòng)力設(shè)備的運(yùn)行能耗費(fèi)用增大。此外，如果流速過(guò)大，還有可能帶來(lái)一些其他不利的因素。因此管徑應(yīng)根據(jù)建設(shè)投資、運(yùn)行費(fèi)用和其他技術(shù)因素綜合考慮決定。

各種氣體配管配件要求

在半導(dǎo)體體行業(yè)線寬越做越小，其對(duì)氣體純度、顆粒度、雜質(zhì)含量、露i點(diǎn)的要求也越來(lái)越高。

高純氮?dú)?PN2)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

氮?dú)?N2)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管，閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或球閥。

高純氫氣(PH2)氫氣(H2)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。(Ar)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

氦氣(He)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

特氣系統(tǒng)：必要的還需做雙套管：外管酸洗鈍化(AP)處理，內(nèi)管電解拋光(EP)，閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

對(duì)于特殊氣體來(lái)講，氣體品種多，有毒有害氣體多，原來(lái)是一機(jī)臺(tái)配一氣柜，高昂的裝備組合和維修費(fèi)用大大增加了投資成本，且有的還布置在工藝間內(nèi)，存在著泄漏的安全隱患。相應(yīng)等級(jí)的實(shí)驗(yàn)室就應(yīng)該有相應(yīng)的設(shè)計(jì)規(guī)范，這樣才能完i美的設(shè)計(jì)出一個(gè)利于工作而保證安全的實(shí)驗(yàn)室。現(xiàn)在廣泛采用集中供氣系統(tǒng)，氣柜集中，自控系統(tǒng)不斷完善，其報(bào)警、噴淋、切換、吹掃多較為成熟，特氣間也與工藝間隔離，并對(duì)房間有防爆要求，工作的安全性大大提高。

不同氣體配管要求

腐蝕性能較強(qiáng)的氣體時(shí)，須選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管，否則，管材將會(huì)由于腐蝕而在內(nèi)表面產(chǎn)生腐蝕斑，嚴(yán)重時(shí)會(huì)出現(xiàn)大片金屬剝離甚至穿孔，從而污染輸配的純凈氣體。

大流量的高純、高潔凈度氣體輸配管道的連接，原則上全部采用焊接，要求采用的管材，在施焊時(shí)組織不發(fā)生變化。因此，在溫度變化較大的管道和需要有自由位移的常溫管道上，需要設(shè)置膨脹節(jié)，使管道的伸縮得到補(bǔ)償而消除附加應(yīng)力的影響。含碳過(guò)高的材料在焊接時(shí)，受焊接部位的透氣，使得管內(nèi)外氣體的相互滲透，破壞輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度，導(dǎo)致我們的各項(xiàng)努力全部失去意義。

特種氣體管道流程

其現(xiàn)場(chǎng)基本的施工程序?yàn)椋菏┕D紙會(huì)審﹣→施工組織編寫(xiě)﹣→預(yù)制間的搭設(shè)﹣→施工機(jī)具的準(zhǔn)備﹣→施工人員的培訓(xùn)﹣→預(yù)制圖紙的編寫(xiě)﹣→管道的預(yù)制﹣→管道的現(xiàn)場(chǎng)安裝﹣→系統(tǒng)檢測(cè)﹣→系統(tǒng)驗(yàn)收

1.預(yù)制間的選擇

特種氣體管道的施工對(duì)環(huán)境的要求比較高，管道施工采用大批量預(yù)制然后現(xiàn)場(chǎng) 安裝的方法。按照標(biāo)準(zhǔn)，預(yù)制作業(yè)需要在潔凈度達(dá)到百級(jí)的凈化間進(jìn)行，作業(yè)人員也按照百級(jí)凈化間的管理著裝。因此對(duì)于大宗特氣項(xiàng)目，一般都建有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的預(yù)制間。

但我們?cè)趯?shí)際的施工中,大宗特氣項(xiàng)目很少,一般都是簡(jiǎn)單系統(tǒng)和常規(guī)系統(tǒng),為了節(jié)約成本和資金,在要求不是很高的情況下、一般采用在施工現(xiàn)場(chǎng)找一塊相對(duì)潔凈的房間采取一定的防塵措施就地施工,除作業(yè)人員和檢察人員外,應(yīng)禁止無(wú)關(guān)人員出入。⑥管道與設(shè)備的連接段宜采用金屬管道，如為非金屬軟管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯i乙烯管，不得采用乳膠管。如果業(yè)主要求比較嚴(yán)格，也采用彩鋼板搭設(shè)一個(gè)簡(jiǎn)單的預(yù)制件，房間內(nèi)鋪上地板革，在屋中用潔凈塑料布封出一塊裝上兩臺(tái)層流罩，做一個(gè)簡(jiǎn)單的凈化空間，進(jìn)行管道的預(yù)制工作。

2.主要的施工機(jī)具

特種氣體管道的主要施工機(jī)具有:全自動(dòng)軌道焊機(jī)(D100、MIOO等)管道切割機(jī)(GF鋸)、管子割刀、平口機(jī)、彎管器、倒角器、管口毛刺修理刮i刀、有的需要配置電源穩(wěn)壓器、防止施工現(xiàn)場(chǎng)電流波動(dòng)對(duì)焊接質(zhì)量造成影響、臺(tái)虎鉗、配電箱、拖線盤(pán)、臺(tái)鉆、電鉆、沖擊鉆、切割機(jī)、電焊機(jī)、其他輔助工具。銅管只使用在氣體管路的末端和氣體純度不是要求太嚴(yán)格的地方（比如通風(fēng)柜）。