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電路板圖設計完成后,接下來的工作便是制作電路板,這是電子小制作中的一項重要工作。制作電路板的過程就是將依據電路原理圖設計出的電路板圖實物化的過程,可以說制作出一塊符合要求的電路板,小制作項目也就成功了一半。
制作電路板的過程包括描繪、腐蝕、鉆孔和表面處理等步驟。我們仍以下圖所示集成電路調頻無線話筒為例,作具體制作方法的介紹。
擴散
擴散是為電池片制造心臟,是為電池片制造P-N結,POCl3是當前磷擴散用較多的選擇。POCl3為液態磷源,液態磷源擴散具有生產效率較高、穩定性好、制得PN結均勻平整及擴散層表面良好等優點。
POCl3在大于600℃的條件下分解生成(PCl5)和(P2O5),PCl5對硅片表面有腐蝕作用,當有氧氣O2存在時,PCl5會分解成P2O5且釋放出,所以擴散通氮氣的同時通入一定流量的氧氣。P2O5在擴散溫度下與硅反應,生成二氧化硅和磷原子,生成的P2O5淀積在硅片表面與硅繼續反應生成SiO2和磷原子,并在硅片表面形成磷-硅玻璃(PSG),磷原子向硅中擴散,制得N型半導體。
外圍設備
在電池片生產過程中,還需要供電、動力、給水、排水、暖通、真空、特汽等外圍設施。消防和環保設備對于保證安全和持續發展也顯得尤為重要。一條年產50MW能力的太陽能電池片生產線,僅工藝和動力設備用電功率就在1800KW左右。工藝純水的用量在每小時15噸左右,水質要求達到中國電子級水GB/T11446.1-1997中EW-1級技術標準。工藝冷卻水用量也在每小時15噸左右,水質中微粒粒徑不宜大于10微米,供水溫度宜在15-20℃。真空排氣量在300M3/H左右。同時,還需要大約氮氣儲罐20立方米,氧氣儲罐10立方米。考慮到特殊氣體如的安全因素,還需要單獨設置一個特氣間,以保證生產安全。另外,燃燒塔、污水處理站等也是電池片生產的必備設施。