排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等,凈化車間設(shè)計(jì)時(shí),要根據(jù)實(shí)際情況選擇。凈化工程技術(shù)的興起不過(guò)是上個(gè)世紀(jì)的事情,但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著好的方向發(fā)展,對(duì)凈化車間的依賴度也越來(lái)越高。潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室。
在實(shí)際施工中,凈化項(xiàng)目通常分為,分工和分時(shí)。 這種安排有利于各種和工作類型的管理。 但是,易于進(jìn)行多塵和無(wú)塵的交叉操作,應(yīng)盡可能避免這種結(jié)構(gòu)布置。 如果不可避免,應(yīng)該防止灰塵和有效清潔。布置工藝的流程盡可能短,減少交叉往復(fù),、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室,除配備產(chǎn)品工序要求的用室外,還應(yīng)配備潔具室、洗衣間、暫存室等,每間用室相互,凈化工程的面積應(yīng)在保證基本要求前提下,與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)。10級(jí):主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級(jí),并且我國(guó)半導(dǎo)體技術(shù)也在發(fā)展之中,在未來(lái)對(duì)潔凈度的要求更加高。
具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。凈化工程技術(shù)的興起不過(guò)是上個(gè)世紀(jì)的事情,但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著好的方向發(fā)展,對(duì)凈化車間的依賴度也越來(lái)越高。1級(jí):塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降,當(dāng)金屬塵埃落于集成電路上時(shí),就可能造成短路。當(dāng)空氣中的酸性離子落在電路上時(shí),可能將電路腐蝕,因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對(duì)微電子工業(yè)而言至關(guān)重要。此外,液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級(jí)潔凈度的要求。
潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室。10級(jí):主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級(jí),并且我國(guó)半導(dǎo)體技術(shù)也在發(fā)展之中,在未來(lái)對(duì)潔凈度的要求更加高。100級(jí):是常用的凈化工程,除了對(duì)空氣中的塵埃數(shù)有要求,對(duì)空氣中細(xì)菌的濃度也有明確要求。一般用于醫(yī)行業(yè)進(jìn)行無(wú)菌制造,例如制造臨床用于植入人體內(nèi)的物品,藥生產(chǎn)。醫(yī)學(xué)科學(xué)實(shí)驗(yàn)也在此環(huán)境中,包括實(shí)驗(yàn)動(dòng)物飼養(yǎng)環(huán)境。