全自動(dòng)鋼網(wǎng)清洗機(jī)是一種柜型立式的清洗機(jī),不銹鋼外觀精巧大方,能夠清洗帶有錫膏或者紅膠的網(wǎng)版(銅版),并且不會對鋼網(wǎng)形成清洗上的損傷。由于自動(dòng)網(wǎng)版清洗機(jī)運(yùn)用的清洗機(jī)技術(shù)是超聲波清洗。
此外,還加裝了噴淋安裝,在超聲波和噴淋系統(tǒng)的雙重作用下,能夠十分有效的將網(wǎng)版上的錫膏高壓沖洗潔凈,并且還會自動(dòng)枯燥,不會在網(wǎng)版上留下水漬痕跡,運(yùn)用潔白無瑕的清潔布悄悄往網(wǎng)版上一擦,也不看見白布上有殘留物或者灰塵,這也能夠闡明,清洗機(jī)的清洗效果是值得我們信任的!
網(wǎng)板清洗機(jī)有三項(xiàng)清洗工藝,分別是清洗溶液的清洗、超聲波的漂洗、風(fēng)切的除水項(xiàng)溶劑清洗的工藝是應(yīng)用事前在鋼網(wǎng)清洗機(jī)內(nèi)部裝配好的夾板夾住鋼網(wǎng),并自動(dòng)化控制,使網(wǎng)板往復(fù)慢拉,保證每一個(gè)位置都能被噴淋到位,清洗溶劑在超聲波的作用下產(chǎn)生上萬的空化氣泡。
由于不時(shí)構(gòu)成的小氣泡在正壓的環(huán)境下疾速,后的氣泡會構(gòu)成一種沖擊力氣,即我們放手去感受會有被無數(shù)針扎的覺得,假如頻率再高一點(diǎn),總覺得本人的手掌能被擊穿,所以,大家千萬不要隨便去嘗試。數(shù)以萬計(jì)的氣泡決裂產(chǎn)生的力氣能夠快速擊落黏在網(wǎng)版上的錫膏紅膠,加上一個(gè)高壓的噴淋系統(tǒng),能夠說是全網(wǎng)清洗無死角了。
干法清洗主要是采用氣態(tài)的刻蝕不規(guī)則分布的有結(jié)構(gòu)的晶圓二氧化硅層,雖然具有對不同薄膜有高選擇比的優(yōu)點(diǎn),但可清洗污染物比較單一,目前在 28nm 及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)的邏輯產(chǎn)品和存儲產(chǎn)品有應(yīng)用。晶圓制造產(chǎn)線上通常以濕法清洗為主,少量特定步驟采用濕法和干法清洗相結(jié)合的方式互補(bǔ)所短,在短期內(nèi)濕法工藝和干法工藝無相互替代的趨勢,目前濕法清洗是主流的清洗技術(shù)路線,占比達(dá)芯片制造清洗步驟數(shù)量的 90%。
在濕法清洗工藝路線下,目前主流的清洗設(shè)備主要包括單片清洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備、組合式清洗設(shè)備和批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設(shè)備等,其中單片清洗設(shè)備市場份額占比高。濕法清洗工藝路線下主流的清洗設(shè)備存在先進(jìn)程度的區(qū)分,主要體現(xiàn)在可清洗顆粒大小、金屬污染、腐蝕均一性以及干燥技術(shù)等標(biāo)準(zhǔn)。目前至純科技主要生產(chǎn)濕法清洗設(shè)備,提供槽式設(shè)備(槽數(shù)量按需配置)及單片機(jī)設(shè)備(8-12 反應(yīng)腔),均可以覆蓋 8-12 寸晶圓制造的濕法工藝設(shè)備。