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這種情況比較復(fù)雜，因為周圍氣體介質(zhì)即使稍微漏入真空腔內(nèi)，也會使其真空度降低。如果漏入了腐蝕性氣體,真空設(shè)備就可能損壞。在很多情況下，真空度和真空空間的潔凈，對真空條件下進行的各種工藝過程的質(zhì)量有決定性的影響。

真空器件所使用的機械密封在結(jié)構(gòu)上并無特殊之處。對于上述的一種情況，通常是采用氣密性好的金屬波紋營型單端面機械密封。第二種情況則要用雙端面機械密封，若使用單端面密封，勢必存在密封端面不能獲得潤滑的問題。

密封面內(nèi)圓柱面上的傷痕很可能是外面的雜物進入密封面或安裝不當(dāng)造成的。密封面上的環(huán)形溝槽，多數(shù)是固體微粒沉積于密封面而引起的。

石墨環(huán)（動環(huán)）的裂紋是由于傳動件的振動，橡膠圈的漲大以及石墨環(huán)本身的內(nèi)應(yīng)力造成的，而結(jié)焦則是因高溫所致，這在煉油廠的高溫?zé)嵊徒橘|(zhì)中是常見的。

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2.1 O形密封圈

O形密封圈簡稱O形圈、工程機械用液壓元件及液壓系統(tǒng)中 常用的是橡膠O形圈。它成本低廉，密封性好，使用范圍寬。例如，工作壓力以1.333×10-5到400MPa，溫度從-60℃到200℃。

實踐證明，O形橡膠圈有如下優(yōu)點：密封部位結(jié)構(gòu)簡單，安裝部位緊湊，質(zhì)量輕;有自封作用，往往只用一個密封件便能完成密封;密封效果好——用于靜密封時幾乎可以實現(xiàn)‘零泄漏’，用于往復(fù)運動密封時其密封性能不變、介質(zhì)泄漏量甚少;運動阻力很小，對壓力交變的工作條件適應(yīng)性好;O形密封圈尺寸及安裝溝槽(形狀、尺寸、技術(shù)要求等)已標(biāo)準(zhǔn)化，便于采購、安裝和維修。由于鍍層材料與基體材料二者線脹速率不同，所以溫度升高時，環(huán)表面會出現(xiàn)裂紋，司太立特合金尤為嚴(yán)重。

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需要注意的是渣漿泵機械密封的適用范圍溫度在-20℃—150℃之間;適用壓力≤ 2.4MPa;渣漿泵機械密封的安裝方法如下。

首要檢查進行安裝的機械密封的型號、規(guī)格是否無誤。

繼而檢查渣漿泵與機械密封的安裝相關(guān)聯(lián)部位的尺寸精度、幾何精度和相互關(guān)系是否符合技術(shù)要求。主要有以下幾個方面：安裝機械密封部位的軸(或軸套)的徑向跳動允差，軸(或軸套)的表面光潔度和外徑尺寸公差。密封腔和壓蓋結(jié)合定位端面對軸(或軸套)中心線垂直度允差。安裝動環(huán)密封圈的軸(或軸套)的端部，安裝機械密封的殼體孔的端部結(jié)構(gòu)之倒角和光潔度。機械密封之轉(zhuǎn)軸工作時的軸向位移量。裝有機械密封的泵和機械密封備件長期不使用時，機械密封部分應(yīng)加注滿N46號機械油，以防止機械密封部件生銹及內(nèi)部橡膠件失效。