廣州潽拓光電科技有限公司——瓦里安真空泵保養配件
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vaian tv141瓦里安分子泵產品圖
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Varian意大利瓦里安分子泵于2010年被美國的Agilent安捷倫公司收購了，瓦里安Varian的分子泵幾乎涵蓋了所有可能的應用領域，特有的機電一體化的設計，具有前級耐壓高的特性，適用于10－10-10毫巴的真空環境。
Varian復合分子泵性能優良，節能的同時也降低了發熱，提高了復合分子泵的可靠性，優化了空氣散熱的冷卻片，從而獲得更高的穩定性。除此之外可以優化Turbo-V 81-M MacroTorr 復合分子泵的幾何結構，提高前級耐壓和足夠大的抽氣量，降低能耗和發熱，可拆卸的前級管道接口可選空氣或水冷卻方式進行冷卻。
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瓦里安Turbo-V 81-M分子泵產品圖
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對使用過的安捷倫擴散泵做過保養的客戶都會有一種印象，與別的擴散泵經常會結滿黑黑的油垢不同，安捷倫的擴散泵噴塔往往在使用好幾年后也非常干凈，有客戶甚至猜測安捷倫的擴散泵噴塔使用了類似不粘鍋的涂層。其實，這主要是因為安捷倫擴散泵噴塔上防焦化擋板設計——在每一級噴嘴的上方，都會有一個與下面的噴塔點接觸的罩子，該罩子的溫度比噴塔低很多，所以，從上方滴下的油滴就不會落到高溫的泵塔上焦化結垢，而是滴落在低溫的擋板上，這就保證了安捷倫擴散泵的噴塔可以一直很干凈，不用定期費時費力清洗
真空泵長期使用后，多少都會出現真空泵漏油現象。如果只是小范圍的滲漏，只要泵油在油視鏡觀察的正常范圍以內，可以暫時不用管，若油位己低于正常范圍了，就需要立即添加泵油才可正常使用，否則可能會使真空泵損壞。注意，油位如果太高也可導致噴油，加到油視鏡三分之二處。