以含有氯原子的表橡膠為代表的橡膠組分，用于導電橡膠輥，以允許導電橡膠輥呈離子導電性。簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產生不同的殺傷破壞效應。該情況下，含有氯原子的橡膠組分具有較高的表面自由能。因此，含有氯原子的橡膠組分容易粘附于色粉和用于色粉的添加劑上。當含有氯原子的橡膠組分與離子導電的單體聚合時，導電輥具有較高的表面自由能并且容易弄濕。因此粘附于導電橡膠輥的色粉量變得較高。當通過用紫外線照射其表面或者使其暴露于臭氧中，使導電橡膠輥的表面上形成氧化膜時，導電橡膠輥表面的氧濃度變得較高。

在儲存技術方面，高密度、大容量硬盤的發展，需要大量的巨磁阻薄膜材料，CoF~Cu多層復合膜是如今應用廣泛的巨磁阻薄膜結構。另外一般的電阻測量儀器受溫度和濕度的影響較大，無法測量，導致不能得出的數值，從而不能保證廣品的品質。磁光盤需要的TbFeCo合金靶材還在進一步發展，用它制造的磁光盤具有存儲容量大，壽命長，可反復無接觸擦寫的特點。如今開發出來的磁光盤，具有TbFeCo/Ta和TbFeCo/Al的層復合膜結構，TbFeCo/AI結構的Kerr旋轉角達到58，而TbFeCofFa則可以接近0.8。經過研究發現，低磁導率的靶材高交流局部放電電壓l抗電強度。

鎢-鈦（W-Ti）膜以及以鎢-鈦（W-Ti）為基的合金膜是高溫合金膜，具有一系列的優良性能。磁控濺射鍍膜是一種新型的物相鍍膜方式,就是用電子槍系統把電子發射并聚焦在被鍍的材料上，使其被濺射出來的原子遵循動量轉換原理以較高的動能脫離材料飛向基片淀積成膜。鎢具有高熔點、高強度和低的熱膨脹系數等性能，W/ Ti 合金具有低的電阻系數、良好的熱穩定性能。如各種器件都需要起到導電作用的金屬布線，例如Al 、Cu 和Ag 等已經被廣泛的應用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環境發生反應,與介質層的粘結性差,易擴散進入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中，并且在較低的溫度下會形成金屬與Si 的化合物, 充當了雜質的角色,使器件的性能大幅度下降。